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搜索：半导体
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氢气是一种非常理想的能源。如今各国积极开发氢气的应用，以取代现有的石化燃料。氢气为清洁的能源载体，具有高能源转换效率、低污染及不产生温室效应等优点，广泛应用在石化、半导体、光电等产业。但是氢气毕竟属于高危的易燃易爆气体，如何能够安全有效的使用也是世界范围内的难题。
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反应曲面法——氯气提纯新工艺！
氯气于工业中用途广泛，电子级的氯气，则因其具强氧化性且对硅、二氧化硅具良好选择性，而使用于半导体之乾式蚀刻制程与热氧化层之品质改善工作。以工业级的氯气作为原料，利用吸附，蒸馏等化工单元操作方式，使原料中杂质与氯气分离，达到将工业级的氯气纯化为纯度更高的电子级的氯气之目的，作为下游半导体业者蚀刻等用途。更多
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氯气供应系统是半导体厂中危险性最高的一环，由于氯气具有强烈的剧毒/腐蚀性，任何些微的洩漏都可能造成人员生命的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于氯气供应系统设计安全性及相关作业操作的要求就特别高。
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氨气/一氧化二氮电浆处理钛酸镍/钛酸钴複晶硅绝缘层
氨气要用于生产硝酸、尿素和其他化学肥料，还可用作医药和农药的原料，也可以广泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。一氧化二氮能溶于水、乙醇、乙醚及浓硫酸，但不与水反应。它也可以用来作为火箭和赛车的氧化剂，以及增加发动机的输出功率。科学家发现笑气和氨气能够使钛酸钴及钛酸镍崩溃电场，从而发挥更大的潜力。更多
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我国氦气资源勘探重大突破，有望缓解氦气资源紧俏
氦气是一种稀有而珍贵的不可再生气体资源，可广泛运用于光学设备和半导体的生产，医疗设备如核磁共振，化学处理和密闭性检查，激光焊，以及光电子业和冷气喷涂。 由于氦气难以从空气中直接提取，全球大部分的氦气资源来自于美国天然气井，而氦气的需求不断扩大但存储量却越来越少，导致其国际市场价格不断飙升。目前我国的高纯氦气主要还是依靠国外气体公司的进口，但这一现象有望在将来得以缓解。 有调研显示我国氦气资源分布特征非常明显。在东部郯-庐断裂带两侧含油气盆地中，发现了多个氦气含量较高的油气藏和非烃气藏，达到或更多
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