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搜索：半导体工业
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半导体工业中的超高纯特种气体
超净高纯特种气体为主要用于制备半导体器件、化合物半导体、激光器、光导纤维、太阳能电池等的高纯度气体，一般纯度在99.999%（5n）以上。其中55％的市场份额是背景气体（如氧、氮、氩、氢、co2等）；其他45％为特种气体。 超净高纯特种气体包括纯气以及二元、多元混合气。纯气己发展至100余种：混合气己有17类、330多个品种，大约1000多种规格。超净高纯特种气体配套性很强，根据不同用途分别有电子级、载气级、发光二极管级、光导纤维级、vlsi级（超大规模集成电路级）等。最近为适应兆位集成电路的生产更多
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高纯氩的作用及注意事项
高纯氩是主要的工业原料，也是最重要的工业气体和特种气体，在石油化工、电子工业、冶金工业、食品加工、浮法玻璃、精细有机合成、航空航天等方面有着广泛的应用。高纯氩的作用有很多，而且在使用的时候也有很多注意事项。下面谱源气体为大家介绍一些氩气方面的知识。 高纯氩的作用： 1、高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体。 2、可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体。 3、在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。 ; 4、高纯氩也可作为色更多
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高纯六氟化硫气体的应用
高纯六氟化硫气体是我国科研、生产等许多部门急需的特种气休,在半导体工业巾用于等离子蚀刻工艺,在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。高纯六氟化硫气体还是重要的激光材料,在其它领域也有重要用途。更多
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氨气/一氧化二氮电浆处理钛酸镍/钛酸钴複晶硅绝缘层
氨气要用于生产硝酸、尿素和其他化学肥料，还可用作医药和农药的原料，也可以广泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。一氧化二氮能溶于水、乙醇、乙醚及浓硫酸，但不与水反应。它也可以用来作为火箭和赛车的氧化剂，以及增加发动机的输出功率。科学家发现笑气和氨气能够使钛酸钴及钛酸镍崩溃电场，从而发挥更大的潜力。更多
