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搜索:四氟化碳
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四氟化碳在微电子行业的应用
四氟化碳,又称为四氟甲烷。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。所以在电子行业中制作线路板蚀刻过程中,需要使用四氟化碳。在蚀刻过程中,用四氟化碳将多余的铜皮腐蚀掉,附有油墨的电路上铜皮得以保留,之后再用四氟化碳进行清洗电路上的油墨再烘干,等工艺。 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控更多
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蚀刻技术中特种气体的作用
硅片的蚀刻气体(特种气体)主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙烷/氧气、三氟化氮等。但由于其各向同性,选择性较差,因此改进后的蚀刻气体通常包括氯基(cl2)和溴基(br2、hbr)气体。反应后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和sibr4。铝和金属复合层的蚀刻通常采用氯基气体,如ccl4、cl2、bcl3等。产物主要包括alcl3等 蚀刻是采用化学和物理方法,有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程。刻蚀的目的是在涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形。刻蚀分为湿法蚀更多
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四氟化碳这种含氟有机化合物作为蚀刻二氧化硅和氧化硅这样的介质材料已成熟运用多年,也是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体。其混合气体即四氟化碳和氧气的混合、与氢的混合均在硅系列、薄膜蚀刻领域广泛应用。同时在低温下可作为低温流体用,也在制冷、体绝缘、氟化剂、表面处理剂和激光气体泄露检验剂有一定的应用空间。四氟化碳的广泛应用,其产品质量要求也相应的较为明确、规范。目前行业内较为成熟的分析方法主要检测四氟化碳中的氧(o2)、氮(n2)、一氧化碳(co)、二氧化碳(co2)、六氟化硫(sf6)、水(h2o)
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如何去除四氟化碳?降低温室效应
四氟化碳分子式cf4,常温下为无色气体,四氟化碳只能微溶于水;对热非常稳定,化学性质比四氯化碳更不活泼。分子呈正四面体结构。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。但此外四氟化碳也是一种造成温室效应的气体。它非常稳定,可以长时间停留在大气层中,是一种非常强大的温室气体。它在大气中的寿命约为50,000年,全球增温(全球暖化)系数是6,500(二氧化碳的系数是1),所以去除生产过程中不必要的四氟化碳气体非常重要。 不同添加气体对微波电浆更多
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四氟化碳又称四氟甲烷,分子量为88.01,无色无味气体.微溶于水,在25℃、1大气压时,溶解度为0。0015%(重量)。常温下是压缩气体。更多信息请点击:,或者拨打我们的热线电话:400-6277-838 熔点-183.6℃ 临界温度-45.67℃ 沸点-128.1℃ 临
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四氟化碳生产厂家工艺揭秘
四氟化碳生产厂家的工艺揭秘,今天纽瑞德小编就带你一起来看一下,更多信息请点击:,或者拨打我们的热线电话:400-6277-838 1.由碳与氟反应,或一氧化碳与氟反应,或碳化硅与氟反应,或氟石与石油焦在电炉里反应,或二氟二氯甲烷与氟化氢反应,或四氯化碳与氟化银反应,或四氯化碳与氟化氢反应,都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分,最后经精馏而得成品。 2.预更多
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四氟化碳到底有没有毒性?
四氟化碳是一种无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高,同时也是最稳定的有机化合物之一,不溶于水。那么四氟化碳有没有毒性的呢?今天的小编为你介绍一下四氟化碳的知识,更多信息请点击:,或者拨打我们的热线电话:400-6277-838更多
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近年来,我国高新技术持续快速发展,计算机工业对大规模集成电路及液晶显示器的需求大量增加。近年来,我国大力发展新型能源,市场对多晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的需求量也与日俱增。此外,新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件也获得迅猛发展,在上述高新产品的生产中,都需要大量氙气 氦气、氪气、氖气、氙气、氨气、四氟化碳、硅烷、八氟环丁烷、六氟化硫等特种气体,以制造出性能可靠的各种器件。 随着我国制造业的发展,未来我国工业对进口高纯氙气需求仍将快速增长,我国特种气体行业的市场规模有望保持20
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1、 本标准规定了六氟化硫中空气、四氟化碳含量的测定,使用气相色谱测定法。本标准适用于电气设备用六氟化硫中空气、四氟化碳含量的测定。 2、 原理 本方法采用气相色谱仪中空气、四氟化碳、六氟化硫完全分离,其浓度可以从它们的峰区面积和被测化合物对检测器的校正系数来确定,结果以中空气、四氟化碳与六氟化硫的质量百分数(%)表示。 3 仪器和材料 3.1 色谱仪
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四氟化碳=温室气体?如何去除四氟化碳气体?
四氟化碳也是一种造成温室效应的气体。它非常稳定,可以长时间停留在大气层中,是一种非常强大的温室气体。它在大气中的寿命约为50,000年,全球增温(全球暖化)系数是6,500(二氧化碳的系数是1),所以去除生产过程中不必要的四氟化碳气体非常重要。近期有一实验对去除四氟化碳气体作出了研究,接下来我们就来了解一下!更多