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揭秘三氟甲烷于高周波电浆系统中的反应机制
很多客户都在纽瑞德特种气体购买过甲烷气体，但是大家听说过三氟甲烷么？从名字上看来三氟甲烷很像甲烷气体的“亲戚“是不是？其实三氟甲烷也是烷烃类的气体之一，三氟甲烷，又称三氟甲，是一种无色、微味，不导电的气体，是理想的卤代烷替代物。三氟甲烷主要用作低温（-100℃）制冷剂，电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有机化合物的原料。纽瑞德特气小编月月就为大家介绍一下三氟甲烷在高周波电浆系统中的反应机制以便大家更好的了解三氟甲烷这个产品。更多
