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我国电子气体发展的三大难点!
电子气体是高科技产业重要的“源”资料,是集成电路制作过程中必不可少的要害支撑资料。据专业人士泄漏,中国半导体行业要实现从跟随走向引领的跨越,电子气体的打破一定会是最重要的一环。 半导体制作过程中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相堆积、分散等要运用大量的电子气体,且电子气体的纯度对芯片质量影响很大。跟着集成电路制程节点不断缩小(已经走到10/7纳米),对电子气体的颗粒度和杂质含量的要求也越来越高。因此,集成电路技能快速发展,对电子气体的种类、数量、质量、安全性以及安稳更多
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高纯气体如何成为零点气体
高纯气体用作零点气的制作完全类似于气体标准物质的制作,但操作过程可以简化。通常使用的稀释气体中的某种或某类杂质含量低于分析方法所采用测量仪器的最小检出量,则此种稀释气就可作为“零点”气使用。 零点气体是用于在给定的含量范围内,用给定的分析方法去校准标准工作曲线的零点。当其作为被测样品进入检测仪表后,在仪器选下的测量范围内,仅呈现仪表零点的响应值,而不会产生偏离预置零点以外的响应信号。对不同类型的检测方法和不同灯头型的检测仪器,最低检测限会对零点气体提出不同的更多
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电子工业中如何正确选用高纯气体
随着科学技术向高、精、尖发展,对各种原材料“纯度”的要求开始越来越高。但是,高纯气体所能提供的数量通常总是较少的,同时,价格昂贵。因此,如何正确地恰如其分地提出对原料气的纯度要求,如何选用高纯气就成为一个值得讨论的问题。 通常,人们常用百分浓度来轰示气体的纯度,即所谓用几个“9”字的表示法。例如,某种气体浓度为99.9%,表示含有0.1% 的杂质(即杂质含量为1000ppm)。按通常的概念,显然,浓度为99.995%的气体比99.99更多
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高纯氖气生产制取方法
高纯氖气是指其纯度不低于99.999%,即杂质含量小于10x10-6(体积分数)的高纯氖气。工业上提供的出气体其杂质总量一般都小于100x10-6(体积分数)。因此高纯氖气生产,必须将工业纯氖气通过进一步纯化,使杂质脱除到10x10-6(体积分数)以下。更多
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气体行业把瓶装气体产品都分为哪些种类呢?
特种气体分为:高(超高)纯气体、标准气体和具有特定组成的混合气体。工业上,把常温常压下(1atm 15℃),呈现出气态的物质称为气体产品。一般工业性气体和特种气体产品。一般工业性气体:一般工业性气体产销量巨大,对气体的纯度要求不高;特种气体有别于一般工业气体,它是具有特殊用途,并在特定领域中应用的,对纯度、杂质含量、组成、物化性能等有特殊要求的一类气体产品。更多