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: 真空系统漏气及氦气测漏仪检漏方法

氦气测漏仪氦气测漏仪（helium leak detectorhelium leak detector）为目前最普遍应用为目前最普遍应用的测漏仪。实际上氦气测漏仪即为一小型气体质谱仪（gas mass spectrometer）而专门测定氦气者。
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