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超高纯气体了解一下！
首先，我们来了解一下什么是“超纯气体”呢？ 超纯气体指纯度高于99.99%的气体,为适应一些科学研究和尖端技术的特殊需要而制备。一些对气体要求特别纯净的部门，需要超纯气体的纯度高达99.9999%以上,每升气体中粒度大于0.5μm的尘粒数应小于三个。 目前，超纯气体的品种发展十分迅速，1981年至今，单一超纯气体已有120多种，混合超纯气体12类。 除以上的单一超纯气体还有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、顺丁烯、丁二烯更多
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