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文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2024-04-18 09:46:40【 】

四氟化碳cf4在电子工业中的广泛应用

四氟化碳

四氟化碳cf4是电子工业中常见的原料气体,分子式:cf4,分子量:88,物化性质:- 熔点

:-184℃,相对密度:-128,四氟化碳非常稳定。即使在碳精电弧的高温下,也只有微弱的反应。

温度高于1万℃时,四氟化碳与二氧化碳反应产生碳酰氟。除非反应条件极其激烈,否则各种

氧化剂和还原剂对四氟化碳没有影响。
四氟化碳逐瓶检验
四氟化碳产品用途:
四氟化碳是微电子工业中使用最多的等离子烛刻气体,其高纯度和四氟化碳高纯度与高纯度氧

气混合。

1. 可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和钨膜材料烛刻。对于硅和二氧化硅系统,

通过调整两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅格栅极上的二氧化硅薄

膜时非常有用。

2. 电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、
还广泛应用于泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面。

3. cf4由于其强大的化学稳定性,也可用于金属冶炼和塑料工业。

4. 四氟化碳具有良好的溶解氧,因此被科学家用于超深度潜水实验,而不是普通的压缩空气。

目前,它已经在老鼠身上取得了成功,在275米到366米的深度内,老鼠仍然可以安全地脱离

危险。
四氟化碳国家标准
四氟化碳cf4产品的包装和储存
(1)包装-四氟化碳钢瓶
名称:钢质无缝气瓶 (执行标准gb5099\iso909)
(2)储存-四氟化碳
1. 气瓶的使用和检验符合国家质量技术监督局《气瓶安全监督条例》的规定。
2. 气瓶不得靠近火源,不得暴露在阳光下,与明火的距离一般不小于10米,气瓶不得撞击。
3. 气瓶的瓶子严禁沾油。
4. 气瓶内的气体不能全部用尽,应留下不小于0.04mpa的剩余压力。

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