高纯气体的常见杂质有哪些?
常规杂质：h2, o2, n2, ar, co, co2, ch4, h2o 特殊杂质：颗粒物、油份、金属离子、同位素物质污染、亚稳态物质污染
杂质来源：原料污染、生产工艺副产物、工艺失效污染、过程污染
环境带入：空气组分(o2, n2, ar, co2), 水分
生产装置，管路，充装装置带入：水分，金属元素，颗粒物，油份 生产工艺富集 包装污染 残气污染 包装本身带入污染：水分，金属元素，颗粒物 分解聚合污染
