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文章出处：责任编辑：人气：-发表时间：2023-07-20 09:23:40【】

氙在电子芯片制造业中的最新应用

高纯氙气

氙气的最新使用发生在电子芯片制造业，这也是氙需求增长的主要原因。几家大型芯片制造商使用氙等离子体蚀刻，主要用于制造微机电系统（mems）。mems器件可以将微电子和微机械集成为一个整体，从而能够在单个芯片上生产更复杂、更高效的电路。这项技术将基本的计算机芯片（数据处理）和传感器（数据收集）结合为一个组件，可以大规模生产。这类芯片的潜在用途是无限的，一些半导体制造商使用氙蚀刻工艺生产这种超级芯片。

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