1.电子气体污染的控制要求越来越严格：随着电子消费品的升级，产
品的制造规模越来越大，对产品成品率和缺陷的控制越来越严格。整
个电子工业对电子气源的纯度和消除传输系统中的二次污染的要求越
来越严格。原则上，行业提出的电子气体污染和颗粒尺寸的技术指标
与分析设备技术进步导致的检测限（ldl）直接相关。例如，传统的
激光颗粒测试仪可以测量0.1μm，而核心凝固技术（cnc）可以达到
0.01μm。
2、流量大，输送连续稳定：电子气倾向于集中供应，特殊气体放在气
室中。根据机器的流量要求合理配置输送系统的数量。专用输气设备必
须采用全自动切换供气，并设计更多备用设备。对于低蒸气压气体
（wf6、dcs、bcl3、c5f8、clf3等），有必要进行气缸加热、气板
加热、管道跟踪等。高精度压力变送器、电子天平、温度控制器等。在
空气源的末端。机器的气体消耗点也配有质量流量计。
3.安全性越来越严格：电子气体可能具有窒息性、腐蚀性、毒性、易燃
性、爆炸性等危害，其危害性已被不同国家、地区和行业组织详细分类。
对于一家大规模生产的电子工厂来说，其使用和储存的电子气体数量可
以毫不夸张地被视为“大规模杀伤性武器库”。规划、施工和日常运营中
的任何潜在安全风险都会对工厂、人员和环境造成重大灾难。
4.建设成本日益下降：随着电子行业投资规模的增加，缩短建设时间和
降低建设成本变得越来越重要。对于电子气体传输系统来说，在不降低
系统污染水平和牺牲安全配置的情况下降低建设和运营成本也是一个挑战。
