电子气体的分类与应用全解析
电子气体，多为集中供应，可分为大宗气体，包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气、二氧化
碳等；电子特种气体，包括笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、四氟环丁烷、
甲烷等气体。
电子气体是电子工业生产中不可缺少的原材料，如超大型集成电路、平面显示器件、化合物
半导体器件、太阳能电池、光纤等。广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
随着我国超大型集成电路、平板显示器、光伏发电等行业的快速发展，电子气体市场需求显
著增加。
一、什么是电子气体？
1、电子气体的含义：气体工业术语，半导体工业用气体统称为电子气体。
2、电子气体分类：根据其类别可分为纯气体、高纯气体和半导体特殊材料气体。特殊材料
气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用于稀释气体和载体气体。电子气体是
特殊气体的重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合可分为电子等级，lsi(大型集成电路)
级，vlsi(超大型集成电路)级和ulsi级(超大型集成电路)级。
二、列举电子气体应用
1、电子气体系统技术的应用
在目前工艺技术先进的超大型集成电路厂的晶圆片制造过程中，所有的工艺步骤都超过了通
道，大约使用不同种类的电子气体。电子气体输送系统是指在充分保证工艺和产品安全使用
的前提下，稳定地将电子气体从气源端输送到工艺生产设备的气点，无二次污染，控制工艺
要求的流量和压力。根据气体的性质和供应包装的不同。
2、氨在电子工业中的应用
氨是一种由氮和氢组成的化合物。它是一种具有特殊刺激性气味的无色水溶性气体。大多数
氨用于生产肥料，也是几乎所有含氮化合物的前身。高纯度特殊气体在led生产中起着至关
重要的作用。超纯氨是用来确保生产最高质量的led元件。这是因为氧气含有水蒸气分子，
即使是微量的，也可以大大降低光能输出。
3、硅烷的应用
硅烷、硅和氢化合物易自燃和爆炸，是一种高危气体。目前广泛应用于微电子和光电子行业，
用于制造太阳能电池、平板显示器、玻璃和钢涂层。此外，还用于制造先进陶瓷、复合材料、
功能材料、生物材料、高能材料等高科技应用。
4、笑气在电子行业的应用
笑气，即一氧化二氮，无色甜气体，是一种氧化剂，广泛应用于电子工业和食品饮料，甚至
在一些电子产品的开发中发挥着至关重要的作用。为了实现电视、手机和电脑显示屏的更高
分辨率和帧速率，笑气在下一代超高清3dtft-lcd低成本开发(薄膜晶体管液晶)显示屏和
oled(发光二极管)显示屏至关重要。
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