氦质谱检漏仪是一种质谱仪,使用高纯度氦作为泄漏气体,并使用气体分析仪检测氦进行泄漏检测。是国内外应用的先进真空罐检漏技术。与常规检漏技术相比,氦质谱检漏技术具有快速、准确、灵敏度高、无损伤等优点。氦质谱检漏仪的示踪气体也可以是其他元素。然而,通常使用氦,因为它具有以下特性:
1.空气中的氦含量很低,只有约120万,很容易找到;
2.氦分子小,重量轻,易于扩散,比其他气体更容易通过泄漏孔;
3.氦离子的荷质比小,易于质谱分析;
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4.氦无毒无味,对大气无污染。
5.氦气是一种化学性质稳定的惰性气体,不会腐蚀和损坏设备;
6.氦无毒、不凝结,极难在水中储存。
由于氦具有上述特性,科研机构已将氦泄漏检测应用于工业企业,甚至个人企业。可以说,应用领域非常广泛。