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电子级硅烷的性质：
1.硅烷是一种在空气中自燃的无色、极活性压缩气体。相对分子质量为32.112。
2.在21.1℃和101.3kpa下相对密度为1.2。比容0.749m3/kg。101.3kpa下气体密
度为1.44kg/m3，-185℃下气体密度为711kg/m3。kpa(1atm)下沸点-112℃，熔
点-184.7℃。临界温度-3.4℃，临界压力4842kpa(绝对)，临界密度247kg/m3。
在-122.2℃蒸发潜热386kj/kg。101.3kpa下气体比热容cp1.334kj/(kg·k)。水中
的溶解度可以忽略不计。
3.气味令人窒息，与空气混合形成爆炸性混合物。硅烷与重金属卤化物和游离卤
素发生强烈反应。硅烷加热到400℃左右，开始分解成非晶体硅和氢，在600℃以
上以晶体硅的形式分解。
电子级硅烷的用途：
广泛用于单晶硅膜的外延淀积和多晶硅膜的生产，非晶硅太阳能电池的生产，复
印机的光敏部件的生产，用硅鼓代替硒鼓。玻璃工业用于生产茶色玻璃。在高科
技领域，硅烷和乙烯可以在激光激活下产生碳化硅超细粉末。激光激活下，硅烷
和氨可以产生氮化硅超细粉末。
电子硅烷气体制造商纽瑞德特种气体供应高纯硅烷气体。高纯硅烷气体的价格是
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44l、47l钢瓶充装，也可根据客户需求分装到8l气瓶中。纽瑞德生产的电子硅烷
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