氦气纯度
1、工业氦
项目名称指标
氦气纯度:≥99%
氖(氢)、氧(氩)、氮、甲烷总含量,%≤1
水分含量,露点,≤-43℃
2、纯氦
项目名称指标
优等品一等品合格品
氦气纯度,%≥99.99599.99399.99
氖含量,ppm≤152540
氢含量,ppm≤357
氧(氩)含量,ppm≤355
氮含量,ppm≤101725
一氧化碳,ppm≤111
二氧化碳,ppm≤111
甲烷量,ppm≤111
水分含量,ppm≤101520
3、高纯氦气
氦气纯度>99.999%,
杂质含量(ppm):
o2≤0.5,
n2≤1.0,
co≤0.5,
co2≤0.5,
ch4≤0.5,
h2o≤0.5,
ne≤8.0;
4、超纯氦气
氦气纯度>99.9999%,
杂质含量(ppm):
n2≤0.5,
o2≤0.5,
ne≤0.5,
co≤0.1,
co2≤0.1,
thc≤0.1,
h2o≤0.2;
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