随着科技进步,氪气因其特殊的物理特性被广泛应用于电子、医学、中空玻璃及航空航天等领域。氪气分离提取工艺要求较高,价格堪比黄金,因此又被称为“黄金气体”。近年来,氪气市场价格飙涨的主要原因离不开供应用端需求的拉动,尤其是航空和半导体领域需求增量较为显著。
氪气主要用于半导体存储器件64层以上3d nand高深宽比蚀刻工艺,在等离子状态下与氧气和其他氟碳气体一起使用。日本铠侠和韩国sk海力士是氪气的主要客户,氪气需求量目前已经接近全球可供应量的50%。随着5g、物联网技术及各类电子产品技术的快速迭代,大数据正呈现出爆炸式的增长,3d nand芯片的需求也随之高速增长,加之各厂家纷纷公告其扩产计划。作为刻蚀工艺的关键电子特气,氪气价格一路飙涨,其中不乏囤货待涨价操作。根据数据统计,2018年至今,半导体客户拿货价增长了25倍;分销市场价格增长了26倍。根据《全球电子稀有气体市场研究 2021版》,2025年电子级氪氖氙气体用量将增加至850ml,同比增长29%。
根据以往经验,如果价格持续上涨太久,消费量必将有下降趋势。如果半导体工厂因为技改减少氪气的使用,供需之间或将恢复平衡。据了解,铠侠第六代(bics6)162层的产品,原本上由于层数的增加,用于刻蚀的氪气用量会增长。但由于氪气的市场供应的不稳定性,铠侠技术人员通过工艺的努力调整,用量得到了削减控制,预计未来2年的铠侠使用量将不会增长。韩国某存储芯片大厂也已经完成阶梯刻蚀(stair etch)工艺升级,预计到2022年该公司氪气需求量将减少至前一年的50%。
中、韩和乌克兰市场氪气供应商近日不约而同地寻求减少库存的方案,价格拐点或于不久出现。希望中国特种气体市场未来能理性投资,健康、平稳有序的发展。