尽管六氟化硫气体在室温下是一种稳定的材料性质，但在sf6气体电弧运动的温度下，其氟化程度更高。电弧、火花和电晕放电导致产生复杂的sf6分解气体和有毒气体，主要是sf4、sof2、so2f2、sof4、so2、co2、h2s、hf等。，和cf4。这些分解产物大多对环境有害。处理六氟化硫的分解非常重要！
不久前，广西电力科学研究院完成了广西第一个六氟化硫固体降解分析研究方法试验室的建设，广西电网六氟化硫工程机械电气控制技术的信息科学与故障诊断数据技术进入了一个新阶段。据介绍，六氟化硫固体分解实验室是中科院经济发展六氟化硫重点实验室资源管理体系建设的重要组成部分。它主要包括电感耦合等离子体质谱（icp-ms）和相关知识理论基础，通过将icp的高温电离（7000k）特性与四级棒质谱仪的灵敏和快速扫描优势相结合，支持操作生产设备的质量和安全，该系统可以根据市场分析的教育目标，同时检测六氟化硫固体分解的基本成分，实现对六氟化硫电气自动化设备有限公司发生财务内网故障现象的现场的快速诊断。
sf6电器内部故障是一个复杂的物理和化学过程。分解气体种类繁多，含量低，稳定性差，其类型和含量不仅与故障能量直接相关，还与故障部位和材料类型、气体水分、杂质、故障后吸附时间等密切相关。除分析检测六氟化硫固体分解产物外，还应综合分析设备故障，gis局部放电支持在线检测，结合超声波定位等技术手段，采用氦离子气相色谱等新技术，全面准确地分析sf6气体分解产物，提高故障诊断的准确性
当固态sf6分解时，差异在于检测装置的适当部分用于分析误差，这也应该是一种良好的测量方法。六氟化硫气体用作绝缘和灭弧设备，其六氟化硫气体和分解产物必须在以下四种条件下回收或处理。
（1） 当开发新产品并完成技术测试时，绝缘破裂样品；
（2） 电气设备检修；
（3） 处理电气设备故障；
（4） 拆除并更换丢失的电气设备。
