当六氟化硫气体的纯度较低时，其绝缘强度大大降低，并且在用于电气绝缘时容易被高压降解，导致事故。从有关部门的试验研究结果可知。那么，气体纯度不纯的原因是什么？
六氟化硫气体的纯度不高，出厂时含有剧毒的低硫氟化物、氟化氢等有毒气体。众所周知，目前化学工业中生产六氟化硫气体的方法主要是元素硫和过量气态氟的直接结合；即s 3f2→sf6 q（热输出）。
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合成的原料中有多种杂质。由于原材料的纯度、生产设备的材料、工艺条件和其他因素，杂质的组成和含量差别很大。总杂质含量可能为5%。由硫和氟化合物组成，如s2、f2、sf2、sf4等；硫-氟-氧化合物，如sof2、so2f2、sof4等，以及带入原材料的杂质，如hf、of2、cf4、n2、o2等。
为了净化原料产品中的杂质，合成的六氟化硫气体还需要经过许多净化过程，如水洗、碱洗、热解（去除剧毒的十氟化碳）、干燥、吸附、冷冻、蒸馏和净化，以生产纯度大于99.8%的产品。然后由压缩机加压，注入冷却至-80℃左右的液态钢瓶。
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除上述合成过程中产生的杂质外。此外，在高纯度六氟化硫的填充过程中，可以混合少量空气、水、矿物油和其他杂质，这些杂质已经或将产生某些有毒物质。为了确保六氟化硫的纯度和质量，六氟化硫国际电工委员会（iec）和许多国家制定了质量标准，并要求制造商在交付时提供无毒生物检测证书。
