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文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2023-08-22 08:47:29【 】
如何做好超高纯氮气的存储


高纯氮气



高纯氮气等超高纯气体一般用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运

载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。



超高纯氮气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。

显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用超高

纯氮气置换,再用超高纯氮气置换。



对于超纯气体,任何微小的污染都会严重影响气体的质量,因此气体贮存和运输过程中

的洁净和高度密封性特别重要。超纯气体主要采用高压钢瓶或低温液化气体容器贮存和

运输。



高压钢瓶坚实耐用,运输和使用灵活,气体无损耗,但气体纯度稳定性较差;低温液化

气体容器单位容积贮量很大,但有气体排放损耗。



超高纯氮气的储存是一项细致而严格的工作,需要多方面考虑,从选择合适的储存器到

严格监控储存过程中的各环节,全方位保障氮气的纯度和质量,从而确保其在集成电路、

半导体和电真空器件制造领域的广泛应用。

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