四氟化碳，这种能使火星升温的气体有什么用途？
四氟化碳，又称四氟甲烷，是一种会引起温室效应的气体。它非常稳定，可以长时间停留
在大气中，是一种非常强大的温室气体。科学家建议，如果每小时在火星上排放1000吨四
氟化碳，火星的平均温度将在30年内升高27.8℃。
当然，四氟化碳的作用不仅仅是加热！它也是微电子工业中最大的等离子蚀刻气体，广泛
应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等材料的蚀刻，广泛应用于电子设备表面清洗、
太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印
刷电路生产中的去污剂、润滑剂和制动液。
四氟化碳主要用于各种集成电路的等离子刻蚀过程，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、
润滑剂、绝缘材料和红外检测管的冷却剂。
目前，超大型集成电路中使用的电子气体的特点和发展趋势是超纯、超净、多品种、多规
模。为了促进我国微电子产业的发展，各国越来越重视特种电子气体生产技术的发展。目
前，四氟化碳长期占据蚀刻气体市场，价格相对较低，具有广阔的发展潜力。
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