在高压电气设备中，六氟化硫以其优异的灭弧绝缘性能被广泛用作灭弧绝缘介质。高压电气设备因不同绝缘缺陷引起的局部放电会产生分解复合气体。分解产物的成分、含量和收率也不同，通过对分解产物成分的分析可以判断故障类型。通过对设备中sf6气体分解气体和化学成分的检测，可以确定绝缘缺陷的类型、性质、范围和发展趋势。
正常运行的电气设备内部温度不超过80℃，不存在sf6等绝缘材料的分解产物，但当设备局部放电、过热严重时，故障区域内的固体绝缘材料和六氟化硫气体会分解。
如果对所有产品进行测试，虽然可以更准确地确定内部故障的位置，但除二氧化硫、硫化氢、四氟化碳和一氧化碳外，上述物质毒性很强，设备浓度很低且不稳定。四氟化硫和二氟化硫的含量稍高，在六氟化硫气体中用水快速水解生成稳定的二氧化硫和氟化氢。
因此，气室中二氧化硫的含量不仅是sf6和固体绝缘材料分解的直接结果，而且是二氧化硫水解的结果。固体绝缘材料主要有环氧树脂、聚四氟乙烯、聚丙烯、聚酯乙烯、聚酰胺树脂、绝缘纸和涂料。当失效点温度达到200℃时，聚乙烯、绝缘纸和油漆开始分解，主要产生二氧化碳、一氧化碳和低分子量碳氢化合物。
当失效点温度达到500℃时，六氟化硫等固体绝缘材料在黎明时开始分解，主要产生二氧化硫、硫化氢、氟化硫、四氟化碳、氟化氢、二氧化碳、一氧化碳和低分子量碳氢化合物。
