在各行各业和工业生产都有广泛的用途，它通常由空气分离工艺制取，气态经管道或钢瓶集装格输送给用户，液态产品用槽车运输给用户。在用管道输送高纯气体的流程中，贸易交接计量通常为气体流量计，流量计的公称通径从50mm到几百毫米。多数交接量大、结算金额高的交接点，往往是供需双方各装一套流量计，从而做到公平计量，万无一失。
高纯气体的特点
高纯气体的纯度极高，组分的变化完全可以忽略不计，因此，气体的密度除了受温度、压力及压缩系数影响之外，无其他因素。而且因为高纯气体无灰尘、无水滴、无油污，为高纯气体流量的准确测量创造了优越的条件。
用差压式流量计测量蒸汽流量时，必须将气相的差压信号转换成凝结水的差压信号。该转换如果处理不当，会引入些许测量误差。另外，当蒸汽进入饱和状态后，由于管道内两相流的存在，也会增加一定的测量误差，当然，两相流对涡街流量计的影响更大。而当被测流体为高纯气体时，由于流体是干燥的，完全不存在两相流和气相转液相的问题，所以，达到规定的准确度更有保证。
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高纯气体流量计的选型
关于高纯气体流量计的选型，由于测量对象的特点和传统习惯，大多选用标准孔板流量计，该类流量计具有下列特点
稳定性和可靠性高，抗干扰能力强，维护和更换简单、方便。
流量测量范围宽。
测量准确度能满足气体贸易交接的需要
计量检定方便。
价格相较于科里奥利质量流量计便宜很多。
量程比窄是孔板流量计的一大缺点，但是近年来蓬勃发展双量程孔板流量计，能将其量程比扩大到33倍，而且达到1.0%不确定度，从而弥补了该缺陷。
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常见高纯气体的用途
⑴环氧乙烷可用作生产增塑剂、润滑剂等;
⑵氯是重要的甲基化剂，还可作致冷剂、发泡剂等;
⑶氯乙烷可用作烟雾剂、冷冻剂、汽油抗震剂、局部麻醉剂;
⑷二甲醚可作喷气推进剂、制冷剂、麻醉剂;甲硫醇用于合成染料、医药、农药;
⑸可直接用于金属切割焊接、原子吸收;乙烯基乙炔主要作为氯丁橡胶原料等
