特种气体是光电子、微电子和其他领域不可或缺的硅基载体材料,尤其适用于超大规模集成电路、lcd器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体灯和半导体材料制造工艺。其纯度和清洁度直接影响光电子和微电子元件的质量、集成度、特定技术指标和产量,并从根本上限制了电路和器件的准确性和准确性。
半导体照明是一个正在崛起的行业。随着复合半导体市场的扩大,对特种气体的需求越来越强烈,外延生长需要大量高
2,2,led行业中使用的特殊气体
半导体工业中使用的气体种类繁多,质量要求高,消耗量低。其中大多数是有毒或腐蚀性气体。有100多个。半导体行业特种气体的应用分类主要包括:
2.led行业使用的特殊气体
半导体工业中使用的气体种类繁多,质量要求高,消耗量低。其中大多数是有毒或腐蚀性气体。有100多个。半导体工业中的特殊气体按用途分类,特别是:
1.硅基气体:含硅基的硅烷,如硅烷、二氯硅烷、乙烷等。
2.讲授气体:含有三或五组原子的气体,如硼、磷、砷等。,如三氯化硼、三氟化硼、磷酸盐、砷等。
3.
4.反应气体:主要是碳和氮氧化物,如二氧化碳、氨、氮氧化物等。
5.金属气相沉积气体:含有卤化金属和有机烷烃金属,如六氟化钨、三甲基镓等。