氩气在特殊领域的重要的应用
氩气在特殊领域中有着重要的应用。它的主要用途之一是在光学领域中作为激光器的工作
介质。此外，氩气还可用于电弧焊、气体保护焊、灯光效果和照明、温控和降温、医疗手
术、电气设备绝缘保护等。在这些特殊用途中，氩气发挥着非常重要的作用。
氩气是目前广泛应用于工业领域的一种稀有气体。在自然界中，它具有极高的惰性，既不
燃烧也不助燃。在飞机制造、船舶、原子能和机械工业等领域，氩气常被用作保护气体，
用于对铝、镁、铜及其合金以及不锈钢等特殊金属进行焊接，以防止焊接部件被空气氧化
或硝化。
高纯度的氩气主要用于焊接、不锈钢生产和冶炼。它还广泛应用于半导体制造过程中的化
学气相沉积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅生产、钨生产、离子注入和载流等
领域。在生产单晶和多晶硅时，烧结氩气被用作保护气体，以提高硅晶体的质量。选择高
纯度的氩气对制造硅晶体至关重要，这是一个问题，通过使用特定的设备可以解决。
当氩气的氧含量小于1ppm，并且水含量小于1ppm时，所生产的单晶硅的氧碳含量将不超
过0.5ppm。这样操作有助于提高单晶硅的使用寿命，满足各项要求，并因此获得客户的满
意度和满足市场需求。由于氩气是蒸发而来且没有经过纯化处理，其含氧量通常在2ppm至
5ppm之间。有时，气体供应商提供的氩气含氧量会超过此范围，而使用氩气的客户可能并
不了解氩气的质量，这将经常会对产品质量产生影响。
只要使用氩气净化装置处理氩气原料气体，无论其质量如何，所得到的进入晶体炉的氩气
纯度总是不变的。通常情况下，其杂质o2＜0.2ppm，湿度＜1ppm，这有利于保证稳定的
氩气产生高质量的晶体。
