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气体在半导体外延中起到的作用
外延生长本质上是一个化学反应过程。用于硅外延生长的主要气体源是氢和氯硅烷，例如四氯化硅（sicl4）、三氯氢硅（sihcl3）和二氯硅烷（sih2cl2）。此外，硅烷经常被用作气体源以降低生长温度。气源的选择主要取决于外延层的生长条件和规格，其中生长温度是选择气源的最重要因素。硅外延层的生长速率和生长温度之间的关系。 显示了两个不同的增长区域。在低温区域（区域a）中，硅外延层的生长速率与温度成指数关系，这意味着它们由表面反应控制；在高温范围（区域b），生长速率与温度几乎没有直接关系，表明它们受质量传输更多
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实验室制取氢气需要主要几点
在实验室中制取氢气时，有以下几点注意事项： 1、最好不用盐酸，因为该反应放热，盐酸会挥发出氯化氢气体，使制得的气体含有氯化氢杂质。zn 2hcl===zncl2 h2↑ 2、钾、钙、钠等金属与稀酸反应时，会优先置换出水中的氢并生成相应的碱，且反应过于剧烈 3、选取的金属应与酸反应速率适中，产生气泡均匀 4、不能使用硝酸或浓硫酸，因为这两种酸具有强氧化性，反应将会生成no2或so2更多
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标准气体组分的相容性
当标准的一氧化氮气体在氮气中产生时，当高纯度氮气含有氧气时，或当填充过程中引入氧气时，混合气体变成no2/n2。类似的问题可以总结如下： 1.酸性气体和碱性气体 常见的酸性气体包括：hcl、h2s、so、no2、有机酸等。，其不能以碱性填充到瓶子中，例如nh3和有机胺； 2.还原气体和氧化气体不相容，不能装在瓶子里，如h2s和so2、h2s和no2、h2和cl2等。 3.易燃或自燃气体和氧化气体 如果可燃气体和氧化气体填充到同一个气瓶中，超过爆炸下限或最低氧气要求，则存在爆炸风险。碳氢化合更多
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三氯氢硅还原法制取高纯硅的化学原理
sihcl3的合成 第一步：由硅石制取粗硅 硅石（sio2）和适量的焦炭混合，并在电炉内加热至1600~1800℃ 可制得纯度为95%~99%的粗硅。其反应式如下： sio2 3c=sic 2co（g）↑ 2sic sio2=3si 2co（g）↑ 总反应式： sio2 2c=si 2co（g）↑ 生成的硅由电炉底部放出，浇铸成锭。用此法生产的粗硅经酸处理后，其纯度可达到99.9%。 第二步：sihcl3的合成 sihcl3是由干燥的氯化氢气体和粗硅粉在合成更多
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工业气体标准气体气瓶的选用
要保证标准气体的稳定性，必须考虑气瓶材质对所配气体的影响，不能对气体产生吸附、氧化等,在有效期限内量值必须稳定可靠,标准气的有效期一般为一年。大多数常量标准气体可采用钢质气瓶充装，但微量co、co2、no、so2等微量标准气体要使用铝合金气瓶充装，对于含有so2 、h2s 、no 、no2、cl2、nh3、ph3等腐蚀性成份且含量低于10ppm的标准气体，要用内涂层钢瓶充装且有效期为3-6个月。对同时含有co、co2的标准气体和含有hf、hcl、chcl3等卤代烃的标准气体也要使用铝合金瓶。 气瓶更多
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因为这类物质易溶于水，比如hcl和水的溶解比例是1：700。当其浓度很低时，尽管气瓶已进行处理，但是减压阀、管路未经过吹扫、钝化，这类组分仍会被吸附。所以这类物质都需要用不锈钢材质的减压阀，并且要吹扫足够长的时间，用标气把管路保压钝化2-3个小时后再去使用和测定，这样才能得到比较准确的数据。
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什么是标准气体组分的相容性
如果产生氮气中的氮氧化物标准气体，如果氮气中含有高纯度的氧气或在填充过程中带入氧气，则混合气体将为no2/n2。类似的问题可以总结如下： 1.酸性和碱性气体 常见的酸性气体包括：hcl、h2s、so no2、有机酸等。不能与碱混合，如氨气和有机胺装在气瓶内； 还原气体和氧化气体不相容，不能装入一个气瓶，如h2s和so2、h2s和no2、h2和cl2等。 3.可燃或自燃气体和氧化性气体 如果易燃气体和氧化气体装在同一个气瓶内，超过最低爆炸极限或超过最低耗氧量，则有爆炸风险。由于易燃气体、更多
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标准气体中一些组分的导热系数
标准气体中一些组分的导热系数 组分名称 4.18*107w(m.k) 组分名称 4.18*107w(m.k) 0℃ 100℃ 0℃ 100℃ 空气 5.8 7.5 chcl3 1.6 2.5 h2 41.6 53.4 ch2cl2 1.6 2.7 he 34.8 51.6 ch3cl 2.2 4.0 n2 5.8 7.5 ch3br更多
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标准气体组分的相容性
如果配制氮中一氧化氮标准气体，如果高纯氮中含有氧或充装中带入氧，那么混合气体就变成了no2/n2了。类似的问题总结为以下三点： 1、酸性气体和碱性气体 常见的酸性气体包括：hcl、h2s、so、no2、有机酸等不能和碱性，如nh3及有机胺充入一个气瓶中； 2、还原性气体和氧化性气体不相容，不能充装在一个气瓶中，如：h2s和so2，h2s和no2，h2和cl2等。 3、可燃或不可燃气体与氧化性气体 如果在爆炸下限以上或最小需氧量以上将可燃气体和氧化性气体充入同一个气瓶中，会有爆炸的危险。更多
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气体成分与材料的不相容性
气体在某种条件下与气瓶、阀门、管路材料不相容可导致如下危险： 1、腐蚀 1）湿气腐蚀 例如hcl、cl2在有水存在时很容易腐蚀钢瓶，水分的引入可能来源于客户使用，没有关闭阀门，也可能在充装过程中或水压检验中；nh3、so2、h2s也有类似的腐蚀。即使是干燥的氯化氢和氯气，高浓度时也不能储存在铝合金气瓶中。 2）应力腐蚀 在co、co2、h2o共存时，极易腐蚀碳钢瓶。因此在制备含有co和co2的标准气体时，气瓶要进行烘干处理，原料气体也要使用高纯气体或更多
