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搜索:微电子工业
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高纯六氟化硫在研究和生产中的重要作用
目前,sf6广泛应用于电力、航天、化学、物理、气象、激光、医药等领域。 高纯度sf6在先进的研究和生产领域中发挥着重要的作用,作为一种特殊气体是必需的。 在军事领域,被用作鱼雷和潜艇的推进剂和清洁剂。在微电子工业中用于清洁气体和蚀刻气体;在光导纤维制造中用作绝缘层掺杂剂。高纯度sf6及其气体混合物在合金氧化过程中可作为合金保护气体溶解;在医学上,sf6被用作安全的超声波造影剂,特别是肝脏肿瘤的x线检查。sf6通常是通过静脉注射,缓慢的呼吸排除…&hellip更多
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六氟化硫在微电子工业中的应用
六氟化硫由于其在自然界中具有非常灵敏、无毒、性能稳定、检测方法可靠、浓度非常低的 特点,经常被用作环保行业空气污染监测和水文地质研究的标志。作为测量空气污染的常用 标志,六氟化硫的监测距离可达100公里。更多
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微电子工业中的六氟化硫
六氟化硫因其灵敏度高、无毒、性能相对稳定、检测技术和方法可靠、性质多样、含量低,常被用作环境保护和管理行业空气污染监测和水文地质问题研究的示踪剂更多
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半导体产业链之电子特种气体行业深度研究:四氟甲烷
四氟甲烷(cf4)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、 控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于它的化学稳定性极 强,cf4 还可用于金属冶炼和塑料行业等。当今超大规模集成电路所用电子气体的特点和发展趋势是超纯、超 净和多品种、多规模,各国为推动本国微电子工业的发展,越来越重视发展特种电子气体的生产技术。就目前 而言,cf4更多
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电子级氯化氢市场迎来重大机遇
电子级氯化氢属于国家重点鼓励发展类项目,随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展,对广泛用于硅外延片和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具有99.999%以上的纯度,还要求氯化氢的thc、h2o和金属离子等有机杂质的含量越低越好。 硅外延片下游终端应用广泛,近年随着新兴技术的出现其下游应用不断拓宽,新兴应用市场不断涌现。通信、计算机、消费电子、光伏、智能电网、医疗电子等终端应用领域的快速发展以及人工智能、物联网等新兴产业的崛起极大地促进了集更多
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常见的5种电子混合气体|纽瑞德特气
气体在半导体工业和微电子工业中扮演着不可或缺的角色,其中除了大家熟知的一些大宗气体以外,还有一个重要的分支:电子混合气体。电子混合气体广泛用于大规模集成电路(l.s.i)超大规模集成电路(v.l.s.i)和半导体器件生产中,主要用于气相外延(生成)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、各类蚀刻和离子注入等工艺中。 根据不同用途又可以将电子混合气体分为:晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相淀积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊更多
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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又称四氟甲烷,被视为一种无机化合物。用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂。常温常压下比较稳定,但是需要避免接触强氧化剂、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃气体,如果遇到高热后会造成容器内压增大,有开裂、爆炸危险。通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作用。 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛用于硅、二氧化硅,磷硅玻璃等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄露检验剂、印刷电路生产中的去污剂等更多
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四氟化碳在微电子行业的应用
四氟化碳,又称为四氟甲烷。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。所以在电子行业中制作线路板蚀刻过程中,需要使用四氟化碳。在蚀刻过程中,用四氟化碳将多余的铜皮腐蚀掉,附有油墨的电路上铜皮得以保留,之后再用四氟化碳进行清洗电路上的油墨再烘干,等工艺。 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控更多
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