半导体产业的绿色未来：氖气回收技术崭露头角
氖气回收技术是一种在半导体制造过程中实现氖气回收的技术。该技术对降低采购成本、供
应链风险和环境影响具有重要意义。韩国半导体企业三星电子和sk海力士在氖气回收方面取
得了显著进展。
sk海力士与特种气体制造商temc合作开发的氖气回收技术，可在光刻工艺完成后有效收集
环境中的氖气回收技术，经专业净化后重新供应给sk海力士。目前，该回收装置的整体回收
率已达72.7%，并计划进一步提高到77%。该技术预计每年为sk海力士节省约400亿韩元的
采购成本，并减少约12000吨二氧化碳的当量碳排放。三星电子还计划在2025年将氖气回收
技术整合到其制造过程中，并在大规模芯片生产中成功采用了氖气回收技术。该技术的应用
有望满足三星光刻过程中约75%的氖气需求，从而大大降低对进口氖气的依赖性。氖气回收
技术的发展不仅显示了半导体企业在技术创新和资源回收方面的领先地位，也为整个电子产
业的可持续发展树立了积极的榜样。随着该技术的进一步推广和应用，预计将有更多的企业
加入资源回收的行列，共同促进全球经济的可持续发展。
氖气回收技术对半导体产业的可持续性有何贡献？
氖气回收技术对半导体产业可持续性的贡献主要体现在以下几个方面:
减少资源消耗和环境影响：通过回收技术，企业可以从生产过程中的废气中收集氖气，不仅
减少了对新氖气资源的需求，而且有助于减少工业生产对环境的影响。
降低生产成本：氖气是半导体制造的关键原材料，特别是在光刻过程中。氖气价格的波动可
能会对半导体制造商的成本产生重大影响。回收技术可以稳定氖气的供应，降低对外部市场
价格波动的敏感性，从而降低生产成本。
提高供应链的韧性：氖气的供应在很大程度上取决于少数供应商，这使得半导体行业面临供
应中断的风险。通过回收技术，企业可以减少对外部氖气供应的依赖，提高供应链的稳定性
和韧性。
促进技术创新和产业可持续发展：氖气回收技术的应用显示了半导体产业在资源回收和环境
保护方面的努力，有助于促进整个产业向更可持续的生产模式转型。
综上所述，三星电子和sk海力士开发的氖气回收技术不仅对公司自身的成本控制和供应链管
理具有重要意义，而且对整个半导体行业的可持续发展也具有积极的贡献。
