电子标准气体:推动电子产业的无形动力
电子标准气体是用于电子行业校准、检测和质量控制的标准气体混合物。
在电子制造过程中,如半导体生产、平板显示制造等领域,对气体的纯度和成分精度要求很高。
电子标准气体通常由一种或多种已知浓度的特定气体组成,可用于校准气体分析仪器、检测气
体泄漏、评估气体处理系统的性能等。
常见的电子标准气体包括但不限于氮、氢、氧、氩、氦等单一气体标准产品,以及由这些气体
组成的混合标准气体,其浓度通常经过准确的测量和认证。这些标准气体有助于确保电子生产
过程中的质量和可靠性,并满足严格的行业标准和法规要求。
电子标准气体广泛应用于许多行业,以下是一些主要的应用行业:
1、集成电路制造:电子标准气体在集成电路制造的许多环节中发挥着重要作用,如混合、外延、
离子注射、腐蚀、化学气相沉积等。随着集成电路工艺的不断演变,对气体杂质的要求来自于
ppm 级发展至 ppb 等级,甚至可能达到 ppt 等级,因此对电子标准气体的纯度、质量稳定性和
一致性要求极高。
2、半导体显示:例如在液晶显示器中(lcd)在生产过程中,标准气体常用于成膜和干刻工艺。
目前,世界各地都是如此。 lcd 电视面板产能高度集中,国内相关厂商在全球竞争中的行业地
位逐渐稳定。
3、led 领域:led 特殊气体用于制造外延片和芯片,其主要生产工艺包括外延片生长、芯片加
工和包装应用。
4、太阳能电池领域:在两种主流电池(太阳能晶体硅电池和薄膜太阳能电池)的生产过程中,
标准气体在扩散、腐蚀、沉积等过程中发挥着重要作用。太阳能作为一种可再生的清洁能源,
具有广阔的发展前景,是太阳能电池的核心组成部分。
5、光纤通信:在这一领域,电子标准气体常用于校准测量仪器和测量过程,其成本占比较高。
6、环境监测:用于校准环境监测设备,保证监测数据的准确性和可靠性。
7、汽车工业:可用于汽车尾气试验,有助于判断汽车尾气排放是否达标。
8、科研领域:在各种科研实验中,用于校准分析仪器、验证方法等。
9、工业生产:例如,在钢铁冶炼、石化等重工中,标准气体可用于质量控制、工艺优化等方
面。
10、食品加工:例如,在食品包装中,可采用标准气体进行气调保鲜等。
11、医疗行业:标准气体也可用于医疗仪器的校准和检测。
总之,电子标准气体在现代工业和技术发展中发挥着重要作用,在保证产品质量、提高生产效
率、促进技术创新方面发挥着关键作用。