电子特气的重要作用解密
什么是电子特气？
电子特殊气体是电子气体的重要分支，是集成电路、显示面板等电子工业生产中不可缺少
的原材料。电子特殊气体种类繁多，广泛应用于离子注射、腐蚀、气相沉积、混合等环节。
它被称为集成电路、液晶面板、led和光伏材料的“食物”和“来源”，决定了设备的最终产量
和可靠性。电子特殊气体广泛应用于半导体、微电子及相关太阳能电池等高科技产业，或
用于薄膜沉积、腐蚀、混合、钝化、清洁，或用于载气、保护气氛等。由于半导体和微电
子技术的发展，对电子特殊气体的纯度提出了越来越高的要求，电子特殊气体的净化变得
越来越关键和重要。
电子特气上游多为iii(硼、铝、镓)、iv(碳、硅、锗)、v(氮、磷、砷)和卤素(氟、氯)的基础
化工行业在集成电路、面板、led等领域的各个工艺环节都有多种用途。电子特气是集成
电路、显示面板等电子工业生产中不可缺少的原材料。2021年，电子特气在集成电路中的
应用占43%，其次是显示面板，占21%，led和光伏分别占13%和6%。主要应用环节包括
离子注射、腐蚀、气相沉积、掺杂等。
常见的电子特气有哪些？
c4f6纯度高、 sihcl3、hf、hcl、hbr、f2、sih4、ph3、ash3、b2h6、c4f8、n2o
、nh3、sf6、nf3、cos、cf4、bcl3、bf3、cl2、si2h6等。
为保证半导体设备的质量和成品率，特种气体产品应满足“超纯”和“超纯”的要求，“超纯”要
求气体纯度达到 4.5n、5n 甚至 6n、7n作为特种气体的核心参数，每次纯度增加一个n，
粒子和金属杂质的浓度降低一个数量级，工艺复杂性和难度都会显著提高。（n 是 nine 简
写，几个n 有几个代表 9，例如3n 纯度为99.9%)，“超净”要求严格控制粒子和金属杂质的
含量。目前国内企业普遍实现5-6n，而林德、法液空等海外龙头企业技术可达6-9n。
市场如何？
2016年，中国特种气体市场规模为156亿元，2020年达到282亿元。2016年至2020年，中
国特种气体市场平均增速达到15%以上，增速明显。有机构预测，2020年以后仍将保持15%
以上的高速增长趋势，2025年中国特种气体市场预计将达到691亿元。同时，国内电子特种
气体行业技术研发稳步推进，有望实现进口替代。2020年，全球电子气体市场规模为58.5亿
美元，预计2025年将超过80亿美元，年复合增速将达到6.5%。未来国内电子特种气体市场
将有很大的增长空间。
