硅烷气的多元应用,不同纯度揭示不同价值
硅烷气的纯度不同,用途也不同,具体如下:
一、工业级硅烷气(纯度) 3n-4n,即 99.9%-99.99%):
1、金属表面处理:可用于金属材料的表面改性和预处理,如在钢表面形成硅涂层,提高金
属的耐腐蚀性、耐磨性和抗疲劳性。
2、玻璃制造:在玻璃工业中,作为提高玻璃性能的添加剂。例如,添加硅烷气体可以提高
玻璃的强度、硬度和耐热性,但也可以降低玻璃的表面张力,使其更容易加工和成型。
3、橡胶加工:用于橡胶硫化过程,可提高橡胶的交联密度,提高橡胶的机械性能、耐热性
和耐老化性。硅烷气也可作为橡胶的偶联剂,以增强橡胶与其他材料之间的粘结强度。
4、太阳能电池生产:在太阳能电池生产过程中,工业硅烷气体可用于制备非晶硅膜。虽然
非晶硅膜的光电转换效率相对较低,但成本较低,适合大规模生产,因此在一些对成本敏感
的太阳能电池应用中具有一定的市场份额。
二、电子级硅烷气(纯度) 5n 及以上,即 99.999% 及以上):
1、半导体制造:是半导体微电子工艺中最重要的特殊气体之一,广泛应用于各种微电子薄
膜制备,包括单晶薄膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅等。例如,在集成电路制造
中,用于化学气相沉积(cvd)在此过程中,在硅片表面沉积一层固体膜,形成电路元件结
构。
2、平板显示制造:在 tft(薄膜晶体管)/lcd(液晶显示器)生产中,硅烷气等气体正在生产中
cvd 在高频交变电场的作用下,解离反应沉积在玻璃基板表面,形成绝缘膜、半导体膜等
各种功能膜。
3、光伏产业:在光伏产业中,用于制备多晶硅薄膜和太阳能电池钝化层。例如,在光伏产业
中。 topcon 在电池技术中,硅烷气是多晶硅薄层的主要硅源。在电池背面制备超薄隧道氧
化层和混合多晶硅薄层,形成钝化接触结构,提高电池光电转换效率。
4、电子多晶硅生产:电子多晶硅是半导体行业的重要原材料,可制成电路元件结构,广泛
应用于计算机、通信等领域。高纯硅烷气是生产电子多晶硅的关键原料之一。
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