天然气行业术语。半导体工业中使用的气体统称为电子气体。它可以分为三类:纯气体、纯气体和半导体特殊材料气体。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯度气体主要用作稀释气体和载气。什么是电子气体?合力燃气(上海)有限公司目前的规模是多少?
电子气体是特种气体的一个重要分支。根据纯度和用途,电子气体可分为电子级、lsi(大规模集成电路)级、vlsi(超大规模集成电路)和ulsi(超大规模电路)级。
通常,那些大约5n的可以称为电子质量。5n表示五个9,即99.999%。现场净化的电子质量气体可达到8n~10n。罐中的电子级7n是指半导体工业中使用的那些,用于制造硅片和硅片上的电路。
近年来,随着我国超大规模集成电路、平板屏、光伏发电等产业的快速发展,电子气市场需求大幅增加,电子气国产化已成为大势所趋。很明显,中国在国产化方面取得了可喜的进展:国产高纯度氨改变了外国天然气公司的市场垄断格局,高纯度四氟化氢“有价值但不可用”的时代已经结束,高纯度氯化氢成功打开了国内市场。