在工业中,常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。工业气体是现代工业的原料,在经济中发挥着重要作用。
根据不同的处理工艺和应用领域,它可以分为散装气体和特殊气体。散装气体主要包括空气分离气体,如氧气、氮气和氩气,以及合成气体,如乙炔和二氧化碳。气体纯度要求不高,主要用于冶金、石化、煤化工和钢铁。特殊气体有很多种,主要包括高纯度气体、混合气体等。,主要用于电子、光伏和医疗等新兴行业。用于制造半导体的电子气体属于特殊气体。
作为特种气体的一个重要分支,用于替代大型电子产品的国内特种气体(以下简称特种电子气体)是集成电路(ic)、显示板(lcd、oled)、光伏能源、玻璃纤维和电缆等电子工业制造中不可或缺的关键原材料。它们广泛应用于薄膜、光刻、蚀刻、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。它们的质量对电子元件的性能有重要影响。在中国,高纯度电子质量气体主要用于集成电路、显示板、led和太阳能领域。其中,集成电路和记分板对电子气体的需求占下游总需求的79%。