同位素硼：半导体工艺中的隐形英雄
同位素：有?类物质具有相同的质?数，不同的中?数，它们占据化学元素
周期表的同?位置，我们称之为同位素（isotope）。
整个芯片行业比较大，专注于芯片制造过程中的离子注入等过程。硼-10(以
下简称“10b”)和硼-11(以下简称“11b”)在自然界中的比例是11。:但是在离子
注射过程中，需要高丰度的11b。所以，为了满足所需的丰度，我们采用了
持续分离和去除10b的过程。举例来说，我们产品硼的纯度可以达到99.999%
，但是仍然不合格。尽管硼的纯度很高，但是为了达到更高的纯度11b，我
们仍然需要将10b的含量降低到更低的水平。
同位素硼的工业市场前景十分广阔。同位素有10b和11b两种，我们丰富的
10b能吸收中子，因此在核电行业，尤其是在安全环节，需求量很大。半导
体行业，虽然不需要10b，但对11b的需求却很大。所以，如果我们在10b和
11b中获得高丰，它不仅可用于核电行业，也可用于半导体行业。
有一种非常流行的方法叫做硼中子捕获疗法，简称bnct，主要针对脑胶质
瘤。它是用10b吸收中子后的一种。α衰变，α衰变半径很短，只是癌细胞的
半径，从而破坏癌细胞。所以硼被广泛使用。它需要半导体、核电和医疗。
只要它能分离出高丰度的硼，当然。
现在，人类已经发现了13种同位素硼，其中11种是放射性的，只有10b和11
b是稳定的同位素，没有放射性。在半导体和电子芯片制造过程中，10b具
有很强的中子吸收能力，而11b几乎不吸收任何中子。这一差异决定了10b
作为核电和医疗领域的基础材料，而三氟化硼-11气体(以下简称11bf3)作为
高端半导体产品制造的电子特性，是半导体和电子芯片制造过程中的消耗材
料。
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