氩气是目前工业上应用很广的稀有气体。它的性质十分不活泼,既不能燃烧,也不助燃。在飞机制造、
造船、原子能工业和机械工业部门,对特殊金属,例如铝、镁、铜及其合金和不锈钢在焊接时,往往用
氩作为焊接保护气,防止焊接件被空气氧化或氮化。
高纯氩气主要用途:用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体
生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保
护气。
氩本身无毒,但在高浓度时有窒息作用。当空气中氧气浓度高于33%时,即氧气浓度比平时减少 2/3以
下时,就有窒息的危险。当氧气浓度超过50% 时,出现严重症状,浓度达75%以上时,能在数分钟内死亡。
窒息症状表现为,最初出现呼吸加快,注意力减退,肌肉运动失调,继而出现判断力下降,失去 所有感觉,情绪不稳,全身疲乏,进而出现恶心、呕吐、衰弱、意识丧失、痊孪、昏睡,以致死亡。液态氩溅
入眼内可引起炎症,触及皮肤可引起冻伤。氩气可用玻璃瓶或钢瓶贮装。在贮运过程中轻装轻卸,严防碰损,
防止高温。氩气没有腐蚀性,在常温下可使用碳钢、不锈钢、铜、铜合金、等通用金属材料及一般的塑性材
料和弹性材料。在低温下常用聚四氟乙烯和聚三氟氯化乙烯聚合体来作垫圈、隔膜等。