准分子激光气体种类解析
用于准分子激光的气体类型主要包括稀有气体卤化物和氧化物。
在刺激状态下，准分子激光器通常使用稀有气体卤化物作为工作
物质产生激光。常见的准分子激光气体包括：
氪氟（krf）：发射波长为248 nm，常用于半导体光刻。
氩氟（arf）：发射波长为193 nm，广泛应用于半导体光刻和眼
科屈光度校正手术。
氙氯（xecl）：发射波长为308 nm，面板显示制造主要采用低温
多晶硅退火。
这些气体通过高压放电激励在准分子激光器中产生高能紫外激光。
它们具有波长、能量大、脉搏宽度窄的特点，适用于高精度加工
和医疗应用。
1.准分子激光器的参数
1. 波长：准分子激光波长范围广，常用波长为193nmm。、248nm、
308nm、350nm、351nm等。
2. 输出功率：准分子激光器的输出功率一般为mw级，常用输出功
率为5mw。、10mw、20mw、50mw等。
3. 脉宽：准分子激光器的脉宽一般为10纳秒量级，常用脉宽为8ns、
10ns、20ns等。
4. 重复频率：准分子激光器的重复频率一般在1-100hz之间，常用
的重复频率为10hz。、20hz、50hz等。
5. 稳定性：准分子激光器的稳定性主要包括波长稳定性、功率稳定
性和重复稳定性。激光输出信号稳定性越好，激光参数精度要求越
高。
2、不同参数对激光性能的影响
不同参数对分子激光性能的影响如下：
1. 波长：波长是准分子激光的重要参数之一。193nm激光适用于半
导体加工等高精度工艺场合。308nm激光适用于皮肤病患者的治疗。
不同的波长激光用于不同的材料加工和医疗美容。
2. 输出功率：输出功率越高，能量密度越高，穿透力越强。适用于
深层组织的切割和烧蚀。但与此同时，高功率激光也会对组织造成
热损伤，因此在医疗美容领域应谨慎使用。
3. 脉冲宽度：脉冲宽度越短，脉冲强度越大，光能越容易穿透样品，
总能量越小。因此，短脉冲激光通常适用于高速加工。
4. 重复频率：重复频率越高，输出能量越大，但长期连续使用会加
剧光学元件和激光介质的磨损。同时，过高的重复频率也会增加激
光的内部温度，降低激光的稳定性。
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