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搜索：蚀刻
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四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯电子行业中重要的蚀刻气体
蚀刻是电子行业重要工艺，蚀刻所用气体称蚀刻气体, 通常多为氟化物气体, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作为新一代环保电子气体，电子级c4f6成为集成电路ic芯片等制造时必不可少的刻蚀气体，其gwp值简直为0，而且能完结纳米级沟槽的加工，成为电子工业领域内一把神奇的“刻刀”，比γ刀还γ！ 2015年，浙化院特种气体研发团队提出自主开发新一代含氟电子气体c4f6的提纯技能。 今天纽小编就带大家一起看看c4f6是怎样更多
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电子气体国产化，为何难以实现？
广义的“电子气体”指电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一；狭义的“电子气体”特指半导体行业用的气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂等工艺，被称为半导体、平面显示等材料的“粮食”和“源”。 在硅片制造厂，一个硅片需要两到三个月的工艺流程，完成450道或更多的工艺步骤才能得到有各种电路图案的芯片。这个过程包括外延、成膜、掺杂、蚀刻、清洗、封装等诸多工序，需要的高纯电子化学气体及更多
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四氟化碳在微电子行业的应用
四氟化碳，又称为四氟甲烷。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。所以在电子行业中制作线路板蚀刻过程中，需要使用四氟化碳。在蚀刻过程中，用四氟化碳将多余的铜皮腐蚀掉，附有油墨的电路上铜皮得以保留，之后再用四氟化碳进行清洗电路上的油墨再烘干，等工艺。 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控更多
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蚀刻技术中特种气体的作用
硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙烷/氧气、三氟化氮等。但由于其各向同性,选择性较差,因此改进后的蚀刻气体通常包括氯基(cl2)和溴基(br2、hbr)气体。反应后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和sibr4。铝和金属复合层的蚀刻通常采用氯基气体,如ccl4、cl2、bcl3等。产物主要包括alcl3等 蚀刻是采用化学和物理方法,有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程。刻蚀的目的是在涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形。刻蚀分为湿法蚀更多
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气相色谱法测定高纯四氟化碳中三氟化氮杂质的方法
四氟化碳这种含氟有机化合物作为蚀刻二氧化硅和氧化硅这样的介质材料已成熟运用多年，也是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体。其混合气体即四氟化碳和氧气的混合、与氢的混合均在硅系列、薄膜蚀刻领域广泛应用。同时在低温下可作为低温流体用，也在制冷、体绝缘、氟化剂、表面处理剂和激光气体泄露检验剂有一定的应用空间。四氟化碳的广泛应用，其产品质量要求也相应的较为明确、规范。目前行业内较为成熟的分析方法主要检测四氟化碳中的氧（o2）、氮（n2）、一氧化碳（co）、二氧化碳（co2）、六氟化硫（sf6）、水（h2o）更多
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如何去除四氟化碳？降低温室效应
四氟化碳分子式cf4，常温下为无色气体，四氟化碳只能微溶于水；对热非常稳定，化学性质比四氯化碳更不活泼。分子呈正四面体结构。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。但此外四氟化碳也是一种造成温室效应的气体。它非常稳定，可以长时间停留在大气层中，是一种非常强大的温室气体。它在大气中的寿命约为50,000年，全球增温(全球暖化)系数是6,500（二氧化碳的系数是1），所以去除生产过程中不必要的四氟化碳气体非常重要。 不同添加气体对微波电浆更多
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电子特气—三氟碘甲烷蚀刻技术
三氟碘甲烷作为灭火剂具有灭火效率高、安全性能好、经济效用高、灭火后不留痕迹等特点，是哈龙1301优选替代品种，经nfpa的标准认证，可正式使用。在航空、航天等领域具有不可替代的作用。作为制冷剂，三氟碘甲烷不燃，具有油溶性和材料相容性很好的特点，被认为是传统氟利昂制冷剂组元的理想替代品之一。另外，三氟碘甲烷在含氟中间体、半导体蚀刻、发泡剂等其它领域也具有广泛的应用前景。 三氟碘甲烷（cf3i）作为半导体刻蚀气体用于3d nand flash先进制程，与同种刻蚀气体cf4，c4f6相比，三氟碘甲烷（c更多
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高纯六氟化硫气体的应用
高纯六氟化硫气体是我国科研、生产等许多部门急需的特种气休,在半导体工业巾用于等离子蚀刻工艺,在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。高纯六氟化硫气体还是重要的激光材料,在其它领域也有重要用途。更多
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温室气体？多用气体？六氟化硫气体作用多多
提到六氟化硫，想必大家是又爱又恨。爱它是因为sf6气体的绝佳灭弧性能和绝缘性，我们在电力设备制造、冶金、电子蚀刻方面都离不开它。恨它是因为sf6气体是《京都决议书》中需要减排的六大温室气体之一。到底六氟化硫气体的用途是什么？哪些行业需要需要它？我们今天来做一个详细的了解。更多
