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半导体产业链之电子特种气体行业深度研究:四氟甲烷
四氟甲烷(cf4)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、 控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于它的化学稳定性极 强,cf4 还可用于金属冶炼和塑料行业等。当今超大规模集成电路所用电子气体的特点和发展趋势是超纯、超 净和多品种、多规模,各国为推动本国微电子工业的发展,越来越重视发展特种电子气体的生产技术。就目前 而言,cf4更多
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氪气价格飙涨是否会终结于此?
随着科技进步,氪气因其特殊的物理特性被广泛应用于电子、医学、中空玻璃及航空航天等领域。氪气分离提取工艺要求较高,价格堪比黄金,因此又被称为“黄金气体”。近年来,氪气市场价格飙涨的主要原因离不开供应用端需求的拉动,尤其是航空和半导体领域需求增量较为显著。 氪气主要用于半导体存储器件64层以上3d nand高深宽比蚀刻工艺,在等离子状态下与氧气和其他氟碳气体一起使用。日本铠侠和韩国sk海力士是氪气的主要客户,氪气需求量目前已经接近全球可供应量的50%。随着5g、物联网技更多
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常见的电子混合气体组分|纽瑞德特气
电子工业用气体统称为电子气。在大规模集成电路(lsi)、超大规模集成电路(vlsi)、半导体和电子器件生产与加工过程中,电子气主要用于气相外延生长、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、蚀刻、离子注入、溅射、退火、系统加压、洁净吹扫、吸气覆盖、氧化和还原等工艺。其中部分气体直接作为半导体源,如硅源、硼源、磷源和cvd 源等等。 常见的几种电子混合气体: oxygen in tetrafluoromethane 4% o2/cf4 8% o2/cf4 1更多
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常见的5种电子混合气体|纽瑞德特气
气体在半导体工业和微电子工业中扮演着不可或缺的角色,其中除了大家熟知的一些大宗气体以外,还有一个重要的分支:电子混合气体。电子混合气体广泛用于大规模集成电路(l.s.i)超大规模集成电路(v.l.s.i)和半导体器件生产中,主要用于气相外延(生成)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、各类蚀刻和离子注入等工艺中。 根据不同用途又可以将电子混合气体分为:晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相淀积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊更多
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六氟化硫气体每公斤多少钱?|来纽瑞德获取最新价格
六氟化硫气体具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍,击穿电压是空气的2.5倍,灭弧能力是空气的100倍,是一种优于空气和油之间的新一代超高压绝缘介质材料。 六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能,如:断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,被大量应用于微电子技术领域。冷冻工业作为制冷剂,制冷范围可在-45℃~0℃之间。 电气工业利用其很高介电强度和良好的灭电弧性能,用作高更多
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四氟化碳组分气体的气相色谱试验方法
四氟化碳用途广泛,目前是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体。它作为温室气体中的一个中类,可以通过多种途径进入水体、土壤、大气中,对环境造成污染。目前的研究已充分证实了臭氧层的损耗与四氟化碳气体在大气中释放的自由基有关。因此,为了准确的评估四氟化碳的排放量,提供四氟化碳组分气体的分析方法及准确定值的方法,评价该类气体物质对自然环境以及经济发展的影响是当前急需解决的问题! 国家标准物质研究中心对该组份气体的制备方法、分析方法以及定值方法进行了研究。通过研究确立气体标注物质量值的复现程序及更多
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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又称四氟甲烷,被视为一种无机化合物。用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂。常温常压下比较稳定,但是需要避免接触强氧化剂、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃气体,如果遇到高热后会造成容器内压增大,有开裂、爆炸危险。通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作用。 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛用于硅、二氧化硅,磷硅玻璃等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄露检验剂、印刷电路生产中的去污剂等更多
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氙气在芯片制造业中前途不可估量!
氙气在电子芯片制造业中的最新使用 氙气作为稀有气体,目前国内产量较低。跟着科技的开展,氙气的使用领域越来越广泛,首要使用于电光源、医疗、科研、航空航天等。 近年来,氙气就被广泛使用于电子芯片制造业,这也是目前氙需求增加及对氙投机生意的最重要原因。多家大型芯片制造商正使用氙气等离子蚀刻,首要用于微电子机械系统( mems )的制造。mems 设 备可将微电子和微机械集成为一个全体,能在一块芯片上制作更复杂及成效更强的电路。这种技术从根本上把电脑芯片(处理数据)和传感器(搜集数据)结合到一个元件上,能够批量出产,这更多