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搜索：蚀刻
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反应曲面法——氯气提纯新工艺！
氯气于工业中用途广泛，电子级的氯气，则因其具强氧化性且对硅、二氧化硅具良好选择性，而使用于半导体之乾式蚀刻制程与热氧化层之品质改善工作。以工业级的氯气作为原料，利用吸附，蒸馏等化工单元操作方式，使原料中杂质与氯气分离，达到将工业级的氯气纯化为纯度更高的电子级的氯气之目的，作为下游半导体业者蚀刻等用途。更多
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四氟化碳气体处理快闪记忆体的应用你知道么
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。今天纽瑞德特气小编月月为大家带来使用四氟化碳电浆处理三氧化钼之电荷捕捉层在快闪记忆体的应用介绍。更多
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当氮气遇到氯气，蚀刻会变得如何？
氯气，化学式为cl?。常温常压下为黄绿色有毒气体，易压缩,可液化为金黄色液态氯。氯气在早期作为造纸、纺织工业的漂白剂。氮气常用作保护气体，如：瓜果，食品，灯泡填充气。无论是氮气还是氯气，都是常见的化学气体，今天纽瑞德特气小编月月为大家介绍一下当氯气遇到氮气，氯气/氮气混合电浆蚀刻的过程会变得如何有趣！更多
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揭秘三氟甲烷于高周波电浆系统中的反应机制
很多客户都在纽瑞德特种气体购买过甲烷气体，但是大家听说过三氟甲烷么？从名字上看来三氟甲烷很像甲烷气体的“亲戚“是不是？其实三氟甲烷也是烷烃类的气体之一，三氟甲烷，又称三氟甲，是一种无色、微味，不导电的气体，是理想的卤代烷替代物。三氟甲烷主要用作低温（-100℃）制冷剂，电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有机化合物的原料。纽瑞德特气小编月月就为大家介绍一下三氟甲烷在高周波电浆系统中的反应机制以便大家更好的了解三氟甲烷这个产品。更多
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六氟化硫在氮化硅蚀刻中的作用
六氟化硫是一种绝缘性极佳的气体，经常被用于高压灭弧以及变电器、高压传输线、互感器等当中。但是六氟化硫除了这些功能以外，也可以作为电子蚀刻剂使用。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。今天纽瑞德特气小编月月就为大家介绍一下六氟化硫在氮化硅蚀刻中的应用和不同参数的影响吧。更多
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电子气体的发展、应用、分类及常用电子混合气体
电子气体的发展及其应用，电子气的分类。常用电子混合气有外延生长混合气-蚀刻混合气-掺杂混合气-化学气相沉积混合气-离子注入气。更多
