蚀刻工艺中的高温室效应潜力气体
高gwp值的蚀刻气体主要包括四氟化碳（cf4）、八氟环丁烷（c8f18）、六氟乙烷（c2f6）
、三氟甲烷（chf3）等。这些气体在蚀刻过程中表现出较高的温室效应潜值（gwp值），对
环境影响较大。
具体蚀刻气体的gwp值和用途
四氟化碳（cf4）：主要用于蚀刻二氧化硅和氮化硅等介质材料，具有较高的gwp值。
八氟环丁烷（c8f18）：同样用于蚀刻工艺，gwp值较高
六氟乙烷（c2f6）：在蚀刻过程中使用，gwp值较高。
三氟甲烷（chf3）：用于蚀刻工艺，gwp值较高。
替代低gwp蚀刻气体的选择
为了减少对环境的影响，可以考虑使用六氟丁二烯（c4f6）等低gwp值的蚀刻气体。六氟丁
二烯具有高选择性、高蚀刻进度和高蚀刻效率的特点，并且环境友好，温室效应潜值(gwp值)
仅为290，大气寿命1.9天，是当前唯一兼具优异蚀刻性能和环保性能的含氟电子蚀刻气。
